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每一台设备都贴着标签,标着名称、型号、生产厂家、安装日期、责任人。
清一色都是国产,清一色都是国防绿涂装,外壳粗糙,旋钮松垮,但运转起来很稳。
有些设备还是比不得进口的,不过只专注核心功能,基本上也能达到要求。
顾赟对每一台设备都如数家珍,参数、性能、使用方法、注意事项,张口就来,没有半点犹豫。
走到一台大设备前面时,二人停了下来。
那是一台一人多高的仪器,也是军绿色的外壳,正面嵌着一块显示屏,显示着一行一行的绿色字符。
旁边有一个操作台,台上放着键盘和轨迹球,球面已经磨得光滑。
这台电子束曝光机,是长光所的又一利器,用来制造光刻掩模版,精度0.5微米。
吕辰走过去,仔细看了看。
仪器的面板上,贴着一张手写的“使用记录表”,上面密密麻麻记着日期、使用者、使用时长、设备状态。
最后一栏是“设备状态”,每一行都写着“正常”,字迹工整,签名清晰。
“谁负责这台设备?”吕辰问。
“戚工。”顾赟喊了一声。
一名穿着洁净服的中年人走了过来,手里拿着一个文件夹。
他从文件夹里抽出一张表格,递给吕辰。
“这台设备娇贵得很,对环境要求特别高。温度波动超过0.5度,它就不稳定;振动稍微大一点,曝光就偏了。我每天早晚各检查一次,记录温湿度和设备参数。”
吕辰接过,是一张设备日常点检表,上面列了几十项检查内容,每一项后面都写着检查结果和检查人签名。
从表格上的记录看,从设备安装到现在,没有一天漏检。
吕辰把表格还给他,又问:“操作人员培训了吗?”
“培训了。”戚工翻开文件夹,“这是培训记录。我们一共培训了12个人,每个人都要通过理论和实操考核才能上岗。考核不过的,继续培训,直到过关为止。”
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